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●型番:KM-60NM●ウェハー径(mm):150(6″)●サイズ(mm):187×142.24×165●収納数:25枚●材質:セミプラスト(R)A(PFA)●D1寸法:13.97mm●溝ピッチ:4.76mm 商品区分キャリア材質PFA(フッ素樹脂)適合ウェハーサイズ6インチ●商品品番 aso 6-7987-08●JAN4582110991813●メーカー型番KM-60NM
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